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Ergebnis der Suche nach: tit all "Test 1"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1225921406 |
| Titel | Tensile Test of Bulk- and Surface-Micromachined 0.1-µm Thick Silicon Film using Electrostatic Force Grip System / by Toshiyuki Tsuchiya, Jiro Sakata, M. Shikida, K. Sato |
| Person(en) |
Tsuchiya, Toshiyuki (Verfasser) Sakata, Jiro (Verfasser) Shikida, M. (Verfasser) Sato, K. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021012819540556609204 DOI: 10.1557/PROC-687-B5.45 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-687-B5.45 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
| DDC-Notation | 620.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 687, 15.3.2011, Nr. 1, date:12.2001: 1-6) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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