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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop / Yiting Wu ; Gutachter: Tino Hausotte, Eberhard Manske ; Betreuer: Tino Hausotte ; Herausgeber: Jörg Franke, Nico Hanenkamp, Tino Hausotte, Marion Merklein, Michael Schmidt, Sandro Wartzack
Person(en) Wu, Yiting (Verfasser)
Hausotte, Tino (Akademischer Betreuer)
Hausotte, Tino (Gutachter)
Manske, Eberhard (Gutachter)
Franke, Jörg (Herausgeber)
Hanenkamp, Nico (Herausgeber)
Hausotte, Tino (Herausgeber)
Merklein, Marion (Herausgeber)
Schmidt, Michael (Herausgeber)
Wartzack, Sandro (Herausgeber)
Organisation(en) FAU University Press ein Imprint der Universität Erlangen-Nürnberg. Universitätsbibliothek (Verlag)
Verlag Erlangen : FAU University Press
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wu, Yiting: Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop
Hochschulschrift Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-189949
DOI: 10.25593/978-3-96147-514-8
URL https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/18994 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen FAU Studien aus dem Maschinenbau ; 390
Anmerkungen In: mb.fau.de/diss
Schlagwörter Messtechnik ; Erweiterung ; Nanometerbereich ; Mikrometerbereich ; Oberflächenstruktur ; Weißlichtinterferometer ; Mikroskop ; Rasterkraftmikroskop
DDC-Notation 621.0287 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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