Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1008291080 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke / von Florentina Niebelschütz. [Technische Universität Ilmenau] |
| Person(en) | Niebelschütz, Florentina (Verfasser) |
| Verlag | Ilmenau : Univ.-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | 200 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 250 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-939473-84-8 kart. : EUR 26.80 (DE) |
| EAN | 9783939473848 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MEMS ; Resonator ; Galliumnitrid ; Heterostruktur ; Halbleitersubstrat ; Siliciumcarbid ; Ätzen ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 A 86936
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2011 A 1507
Bereitstellung in Leipzig |
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