Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1111910618 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung einer Anlage zur thermischen Atomlagenabscheidung von nanoskaligen Metalloxiden auf poröse Substrate / Nicolas Benedikt Markus Sobel. Betreuer: Christian Hess ; Jörg Schneider ; Kornelius Nielsch |
| Person(en) |
Sobel, Nicolas Benedikt Markus (Verfasser) Hess, Christian (Akademischer Betreuer) Schneider, Jörg J. (Akademischer Betreuer) Nielsch, Kornelius (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2015 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Sobel, Nicolas Benedikt Markus: Entwicklung einer Anlage zur thermischen Atomlagenabscheidung von nanoskaligen Metalloxiden auf poröse Substrate |
| Hochschulschrift | Dissertation, Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, 2015 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-46551 |
| URL | http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/4655/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Halbleiter ; Halbleiterbauelement ; Halbleiterelektronik Atomlagenabscheidung* ; Substrat <Mikroelektronik>* ; Beschichten* ; Beschichtung* ; Wafer* ; Nanoröhre* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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