Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems / vorgelegt von Carsten Kügeler
Person(en) Kügeler, Carsten (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 6,2 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kügeler, Carsten: Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-16004
URL http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1600/pdf/Kuegeler_Carsten.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1600/ (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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