The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1156532647
Titel	The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition
Person(en)	Beh, Holger (Verfasser) Zacharias, Margit (Akademischer Betreuer)
Organisation(en)	Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Mitwirkender) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Institut für Mikrosystemtechnik (Mitwirkender) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Grad-verleihende Institution) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (Verlag)
Verlag	Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format	Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift	Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2018
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-152457 DOI: 10.6094/UNIFR/15245
URL	https://freidok.uni-freiburg.de/data/15245 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Schlagwörter	Zinkoxid ; Elektrische Leitfähigkeit ; Atomlagenabscheidung ; Transparent-leitendes Oxid ; Stabilität ; Langzeitverhalten ; Temperaturabhängigkeit ; Wasserstoff ; Diethylzink ; Dimethylzink ; Spezifischer Widerstand
Sachgruppe(n)	530 Physik

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