Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1210523426 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung / Michael Kühn |
| Person(en) | Kühn, Michael (Verfasser) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1997 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kühn, Michael: Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung |
| Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 1997 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Titan ; Chrom ; Zirkonium ; Metalldampf ; Vakuumlichtbogen ; Plasmadiagnostik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

