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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Interferenzlithographie mit hochaufbauenden Resistsystemen / vorgelegt von Jörg Mick
Person(en) Mick, Jörg (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 21,1 MB
Hochschulschrift Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:25-opus-24143
URL http://www.freidok.uni-freiburg.de/freidok/volltexte/2006/2414/pdf/Interferenzlithographie_mit_hochaufbauenden_Resistsystemen.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.freidok.uni-freiburg.de/volltexte/2414/index.html (Verlag)
Anmerkungen Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2005
Schlagwörter Photoresist ; Interferenz ; Lithographie ; Galvanotechnik ; Replikation
DDC-Notation 621.381531 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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