Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Organic peracid etches : a new class of chromium-free etching solutions for the delineation of defects in thin silicon films / by Daniel Georg Possner
Person(en) Possner, Daniel Georg (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 1 CD-RW ; 12 cm + Beil. ([2] Bl.)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung: Possner, Daniel Georg: Organic peracid etches
Hochschulschrift Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2009
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Titel auf der Beil.
Schlagwörter Kristallstruktur ; Silicium ; Oberflächenchemie
DDC-Notation 548.81 [DDC22ger]; 546.68353 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

Frankfurt Signatur: 2010 CRA 6114
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2010 DT 2758
Bereitstellung in Leipzig




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