Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/980283477 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Zuverlässigkeitsaspekte von Kupfermetallisierungen in integrierten Schaltungen / Alexander von Glasow |
| Person(en) | Glasow, Alexander von (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2006] |
| Umfang/Format | Online-Ressource (PDF, ca. 8,1 MB) |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2005 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss20060413-1913008161 |
| URL | http://mediatum.ub.tum.de/mediatum/servlets/TUMDistributionServlet?id=mediaTUM_derivate_000000000002829 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Schlagwörter | LSI ; Kupfer ; Metallisieren ; Verdrahtung ; Zuverlässigkeit ; Elektromigration |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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