Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Titel Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications / by Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Daniel Glöß, Peter Frach, Thomas Modes, Olaf Zywitzki, Gunnar Suchaneck, Gerald Gerlach
Person(en) Barth, Stephan (Verfasser)
Bartzsch, Hagen (Mitwirkender)
Glöß, Daniel (Mitwirkender)
Frach, Peter (Mitwirkender)
Modes, Thomas (Mitwirkender)
Zywitzki, Olaf (Mitwirkender)
Suchaneck, Gunnar (Mitwirkender)
Gerlach, Gerald (Mitwirkender)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Herausgebendes Organ)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-2016070728016
DOI: 10.1007/s00542-015-2787-x
URL http://dx.doi.org/10.1007/s00542-015-2787-x
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystem technologies (Bd. 22, 9.1.2016, Nr. 7, date:7.2016: 1613-1617)

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