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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen / vorgelegt von Percy Heger
Person(en) Heger, Percy (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format 116 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Heger, Percy: Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003
Schlagwörter Hartstoff ; PECVD-Verfahren ; Siliciumorganische Verbindungen ; Bororganische Verbindungen ; Glimmentladung
Vakuumbeschichten ; Plasmadiagnostik ; Infrarot-Reflexionsspektroskopie ; Massenspektrometrie
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2004 A 5164
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2004 A 381
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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