Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1198219033 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV-und Röntgentiefenlithografie / M. Schulz |
| Person(en) | Schulz, M. (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Freiburg, Universität Freiburg, 2003 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2019102906065199715538 DOI: 10.5445/IR/200056203 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6901 |
| Schlagwörter | Polymere* ; Mikromechanik* ; Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Siliciumcarbonitrid* ; Mikrosystemtechnik* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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