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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie / Martin Eckel. Universität Stuttgart, IFF, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb ; IPA, Fraunhofer-Institut Produktionstechnik und Automatisierung
Person(en) Eckel, Martin (Verfasser)
Verlag Heimsheim : Jost-Jetter
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format 132 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002
ISBN/Einband/Preis 978-3-931388-99-7 kart. : EUR 44.00
3-931388-99-9 kart. : EUR 44.00
Beziehungen Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung: IPA-IAO-Forschung und Praxis ; Nr. 368
Schlagwörter PECVD-Verfahren ; Maßstabübertragung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie ; Prozessüberwachung ; In situ
Sachgruppe(n) 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2003 A 1052
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2003 A 1052
Bereitstellung in Leipzig




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