Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/121093261X |
| Titel | Festphasenreaktionen metallischer Doppelschichten mit Silicium / Heiko Hortenbach |
| Person(en) | Hortenbach, Heiko (Verfasser) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1999 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Diplomarbeit, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-199900575 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Doppelschicht ; Cobaltdisilicid ; Cobalt ; Titan ; Kohlenstoff ; Siliciumdioxid ; Epitaxie ; Plasmaätzen Silicium* ; Cobaltdisilicid* ; Cobalt* ; Titan* ; Doppelschicht* ; Epitaxie* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 546 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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