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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/119822309X |
| Art des Inhalts |
Hochschulschrift Forschungsbericht |
| Titel | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / Song-Jo Chung, H. Hein, J. Schulz |
| Person(en) |
Chung, Song-Jo (Verfasser) Hein, H. (Verfasser) Schulz, J. (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 1998, Dissertation von Song-Jo Chung |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2019102907314084137218 DOI: 10.5445/IR/32698 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6111 |
| Schlagwörter | Photoresist* ; Novolak* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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