Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Ulk" sortBy jhr/sort.ascending
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/122599991X |
| Titel | PECVD Versus Spin-on to Perform Porous ULK for Advanced Interconnects: Chemical Composition, Porosity and Mechanical Behavior / by Vincent Jousseaume, Charles Le Cornec, Frederic Ciaramella, Laurent Favennec, Aziz Zenasni, Gurvan Simon, Jean Paul Simon, Guillaume Gerbaud, Gerard Passemard |
| Person(en) |
Jousseaume, Vincent (Verfasser) Cornec, Charles Le (Verfasser) Ciaramella, Frederic (Verfasser) Favennec, Laurent (Verfasser) Zenasni, Aziz (Verfasser) Simon, Gurvan (Verfasser) Simon, Jean Paul (Verfasser) Gerbaud, Guillaume (Verfasser) Passemard, Gerard (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021012920290462089996 DOI: 10.1557/PROC-0914-F04-06 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-0914-F04-06 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| DDC-Notation | 620.11 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 914, 14.6.2006, Nr. 1, date:12.2005: 1-6) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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