Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: Thomas and Müller
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1310698031 |
| Titel | PECVD and PEALD on polymer substrates (part I): Fundamentals and analysis of plasma activation and thin film growth / Teresa de los Arcos, Peter Awakowicz, Jan Benedikt, Beatrix Biskup, Marc Böke, Nils Boysen, Rahel Buschhaus, Rainer Dahlmann, Anjana Devi, Tobias Gergs, Jonathan Jenderny, Achim von Keudell, Thomas D. Kühne, Simon Kusmierz, Hendrik Müller, Thomas Mussenbrock, Jan Trieschmann, David Zanders, Frederik Zysk, Guido Grundmeier |
| Person(en) |
de los Arcos, Teresa (Verfasser) Awakowicz, Peter (Verfasser) Benedikt, Jan (Verfasser) Biskup, Beatrix (Verfasser) Böke, Marc (Verfasser) Boysen, Nils (Verfasser) Buschhaus, Rahel (Verfasser) Dahlmann, Rainer (Verfasser) Devi, Anjana (Verfasser) Gergs, Tobias (Verfasser) Jenderny, Jonathan (Verfasser) Keudell, Achim von (Verfasser) Kühne, Thomas D. (Verfasser) Kusmierz, Simon (Verfasser) Müller, Hendrik (Verfasser) Mussenbrock, Thomas (Verfasser) Trieschmann, Jan (Verfasser) Zanders, David (Verfasser) Zysk, Frederik (Verfasser) Grundmeier, Guido (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2023 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023112200392201422110 DOI: 10.18154/RWTH-2023-10857 |
| URL | https://publications.rwth-aachen.de/record/973558 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: 10.1002/ppap.202300150 |
| DDC-Notation | 530.44 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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