Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. Bestellte Medien werden am 2. Januar 2026 bereitgestellt. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations. Ordered media will be made available on 2 January 2026.
 
 

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Titel Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren) / Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Kernverfahrenstechnik. Von E. W. Becker ...
Person(en) Becker, Erwin W. (Verfasser)
Organisation(en) Institut für Kernverfahrenstechnik (Karlsruhe) (Herausgebendes Organ)
Verlag Karlsruhe : Kernforschungszentrum
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1985
Umfang/Format 33 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart. (Pr. nicht mitget.)
Identifikationsnummern Reportnummer: KfK 3995
Anmerkungen Als Ms. vervielfältigt
Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien

Frankfurt Signatur: DKb 85/5179
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: SB 7121-3995
Bereitstellung in Leipzig




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