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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1043531009
Titel Novel Optical Technologies for Nanofabrication
Person(en) Liu, Qian (Verfasser)
Duan, Xuanming (Verfasser)
Peng, Changsi (Verfasser)
Verlag Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Liu, Qian: Novel optical technologies for nanofabrication
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20131030933
DOI: 10.1007/978-3-642-40387-3
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-40387-3 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-642-40387-3
EAN 9783642403873
Beziehungen Nanostructure Science and Technology
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Nanotechnologie ; Lasertechnologie
Nanolithografie
DDC-Notation 681.4 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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