Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1070401021 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Statistical approaches to the inverse problem of scatterometry / Mark-Alexander Henn |
Person(en) | Henn, Mark-Alexander (Verfasser) |
Organisation(en) | Wirtschaftsverlag N.W. Verlag für Neue Wissenschaft (Verlag) |
Verlag | Bremen : Wirtschaftsverlag NW, Verlag für neue Wissenschaft GmbH |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: Dezember 2013 |
Umfang/Format | xxi, 90 Seiten : Illustrationen ; 30 cm, 369 g |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Berlin, 2013 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-95606-063-2 Broschur : EUR 16.50 (DE), EUR 17.00 (AT), sfr 23.90 (freier Pr.) |
Bestellnummer(n) | Opt 73 |
EAN | 9783956060632 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt: Bericht / Opt ; 73 Wissenschaftliche Veröffentlichungen |
Schlagwörter | Inverses Streuproblem ; Scatterometer ; Nanostruktur |
DDC-Notation | 530.411 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2015 B 25386
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2015 B 35004
Bereitstellung in Leipzig |
