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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Statistical approaches to the inverse problem of scatterometry / Mark-Alexander Henn
Person(en) Henn, Mark-Alexander (Verfasser)
Organisation(en) Wirtschaftsverlag N.W. Verlag für Neue Wissenschaft (Verlag)
Verlag Bremen : Wirtschaftsverlag NW, Verlag für neue Wissenschaft GmbH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: Dezember 2013
Umfang/Format xxi, 90 Seiten : Illustrationen ; 30 cm, 369 g
Hochschulschrift Dissertation, Technische Universität Berlin, 2013
ISBN/Einband/Preis 978-3-95606-063-2 Broschur : EUR 16.50 (DE), EUR 17.00 (AT), sfr 23.90 (freier Pr.)
Bestellnummer(n) Opt 73
EAN 9783956060632
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Physikalisch-Technische Bundesanstalt: Bericht / Opt ; 73
Wissenschaftliche Veröffentlichungen
Schlagwörter Inverses Streuproblem ; Scatterometer ; Nanostruktur
DDC-Notation 530.411 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2015 B 25386
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2015 B 35004
Bereitstellung in Leipzig




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