Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1102943843 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Defect engineering in transition metal based nitride thin films by energetic treatment during deposition / vorgelegt von Dipl.-Ing. Christina Wüstefeld |
Person(en) | Wüstefeld, Christina (Verfasser) |
Organisation(en) | Logos Verlag Berlin (Verlag) |
Verlag | Berlin : Logos Verlag |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2016] |
Umfang/Format | XIV, 215 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2015 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-8325-4267-2 Broschur : EUR 55.00 (DE), EUR 56.50 (AT) 3-8325-4267-1 |
EAN | 9783832542672 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | Übergangsmetallnitride ; Dünne Schicht ; PVD-Verfahren ; Ionenbestrahlung |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2016 A 34149
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2016 A 53098
Bereitstellung in Leipzig |
