Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985547944 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle / vorgelegt von Susanne Wiegand |
| Person(en) | Wiegand, Susanne (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 7,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wiegand, Susanne: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle |
| Hochschulschrift | Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:105-7061542 |
| URL |
https://fridolin.tu-freiberg.de/archiv/pdf/PhysikWiegandSusanne706154.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) https://fridolin.tu-freiberg.de/archiv/html/PhysikWiegandSusanne706154.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 519.23 [DDC22ger]; 660.2977 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 510 Mathematik ; 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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