Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Development and electrical characterization of air gap structures for advanced metallization schemes / Andreas Stich
Person(en) Stich, Andreas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format VIII, 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Stich, Andreas: Development and electrical characterization of air gap structures for advanced metallization schemes
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2007
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 B 17961
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2007 B 20890
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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