Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1216704600 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method / Marianne Unterreitmeier ; Gutachter: Robert Weigel, Lothar Pfitzner, Rainer Holmer ; Betreuer: Robert Weigel |
| Person(en) |
Unterreitmeier, Marianne (Verfasser) Weigel, Robert (Akademischer Betreuer) Weigel, Robert (Gutachter) Pfitzner, Lothar (Gutachter) Holmer, Rainer (Gutachter) |
| Verlag | Erlangen : FAU University Press |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2020 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2019 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144784 DOI: 10.25593/978-3-96147-306-9 |
| URL | https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/14478 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | FAU Forschungen, Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; 33 |
| Schlagwörter | Wafer ; Halbleiterschicht ; Schallemissionsanalyse ; Rissbildung ; Härteeindruck ; Werkstoffschädigung ; Halbleitertechnologie ; Kontaktieren |
| DDC-Notation | 621.381520287 [DDC23ger]; 620.1127 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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