Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/989379760 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices / Jan Weber |
| Person(en) | Weber, Jan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | 158 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Weber, Jan: Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices |
| Hochschulschrift | Augsburg, Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | MEMS ; Hochfrequenz ; Akustischer Sensor |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 B 19652 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 B 20391 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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