Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
Treffer 5872 von 6527
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98715379X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography = Mesoskopische Simulation der Photolackbearbeitung in der optischen Lithographie / vorgelegt von Thomas Schnattinger |
| Person(en) | Schnattinger, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | XII, 151 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schnattinger, Thomas: Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2007 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Computersimulation ; Direkte numerische Simulation ; Diskrete Simulation ; Monte-Carlo-Simulation ; Simulation ; Photoresist ; Lithographie <Halbleite |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 5342 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 A 13996 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 5872 von 6527
Administration
