Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Plasmaloses Trockenätzen von Silizium mit Chlortrifluorid : Untersuchung des Ätzmechanismus und Anwendungen in der Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Arnim Höchst
Person(en) Höchst, Arnim (Verfasser)
Verlag Tönning ; Lübeck ; Marburg : Der Andere Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format 108 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm
Hochschulschrift Zugl.: Tübingen, Univ., Diss., 2007
ISBN/Einband/Preis 978-3-89959-668-7 kart. : EUR 31.90 (DE)
EAN 9783899596687
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Trockenätzen ; Chlortrifluorid ; Silicium
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2009 A 55826
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2009 A 83136
Bereitstellung in Leipzig




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