Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Aus"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/955349060 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium / vorgelegt von Beatrice Wenk |
| Person(en) | Wenk, Beatrice (Verfasser) |
| Ausgabe | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Sekundärausgabe | Mikrofiche-Ausg.: 1998. 2 Mikrofiches : 24x |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
| Umfang/Format | 123 Bl. : Ill., graph. Darst. |
| Hochschulschrift | Berlin, Techn. Univ., Diss., 1998 |
| Schlagwörter | Beschleunigungssensor ; Silicium ; Polykristall ; Oberflächenmontage ; Halbleitertechnologie ; Mikroform |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Frankfurt |
Signatur: H 1998 MF 2714
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 1998 MF 2714
Bereitstellung in Leipzig |
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