Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4267316-1
Sachbegriff PECVD-Verfahren
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung
Synonyme Plasma Enhanced CVD-Verfahren
PACVD-Verfahren
Plasmaaktiviertes CVD-Verfahren
Oberbegriffe CVD-Verfahren
Plasmaabscheidung
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Plasma-enhanced chemical vapor deposition
RAMEAU: Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Untergeordnet 1 Datensatz
  1. LEPECVD-Verfahren
    PECVD-Verfahren
Thema in 263 Publikationen
  1. Luminescence properties of nano-structured silicon
    Yazicioglu, Deniz. - Freiburg : Universität, 2024
  2. Analyse der Porenstrukturen in nanostrukturierten Funktionsschichten auf Kunststoffen und Modellierung des porengesteuerten Stofftransports
    Wilski, Stefan. - Aachen : Verlagsgruppe Mainz GmbH Aachen, 2023, 1. Auflage
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 19 Publikationen
  1. Skalierfähige Komponenten für Magnetometrie basierend auf NV-Zentren in Diamant
    Bähr, Mario. - Leipzig : Universitätsbibliothek Leipzig, 2024
  2. Biokompatibilität und antimikrobielle Wirkung von kaltem atmosphärischem Plasma
    Fink, Sarah. - Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2023
  3. ...





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