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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/109992930X
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Black Silicon mittels ICP-RIE und seine Anwendungen in Optik und Optoelelektronik / von Dipl.-Phys. Martin Steglich
Person(en) Steglich, Martin (Verfasser)
Verlag Jena
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format 123 Blätter : Illustrationen ; 30 cm
Hochschulschrift Dissertation, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2016
ISBN/Einband/Preis Broschur
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 537.6226 [DDC22ger]; 620.19304295 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 B 9589
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 B 13413
Bereitstellung in Leipzig




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