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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ultrahochvakuum Wafer-Direktbonden nach Oberflächenreinigung durch Beschuss mit niederenergetischen Wasserstoffionen / von Nasser Razek
Person(en) Razek, Nasser (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format III, 117, VI S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Leipzig, Univ., Diss., 2006
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2006 B 28146
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 B 29866
Bereitstellung in Leipzig




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