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Titel The Promotion of Silicide Formation using a Scanned Silicon Ion Beam / by E. J. Williams, E. G. Bithell, C. B. Boothroyd, W. M. Stobbs, R. J. Young, J. R. A. Cleaver
Person(en) Williams, E. J. (Verfasser)
Bithell, E. G. (Verfasser)
Boothroyd, C. B. (Verfasser)
Stobbs, W. M. (Verfasser)
Young, R. J. (Verfasser)
Cleaver, J. R. A. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021031023520600061518
DOI: 10.1557/PROC-100-287
URL https://doi.org/10.1557/PROC-100-287
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1988
DDC-Notation 539.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 100, 1.05.1987, Nr. 1, date:12.1987: 287-292)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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