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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Elektronenspektroskopie und Faktoranalyse zur Untersuchung von ionenbeschossenen Metall (Re, Ir, Cr, Fe)-Silizium-Schichten / von Rainer Reiche
Person(en) Reiche, Rainer (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2000
Umfang/Format ca. 14,8 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reiche, Rainer: Elektronenspektroskopie und Faktoranalyse zur Untersuchung von ionenbeschossenen Metall (Re, Ir, Cr, Fe)-Silizium-Schichten
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2000
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:14-994160101234-34968
URL http://hsss.slub-dresden.de/pub2/dissertation/2001/mathematik_und_naturwissenschaften/994160101234-3496/994160101234-3496.pdf
http://hsss.slub-dresden.de/hsss/servlet/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=994160101234-3496 (Verlag)
Schlagwörter Metall ; Silicium ; Mehrschichtsystem ; Ionenbestrahlung ; Elektronenspektroskopie ; Faktorenanalyse
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

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