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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1204258295
Titel Fluorocarbon plasma erosion of silica glass doped with aluminum / Mark Stamminger ; Gutachter: Achim von Keudell, Peter Awakowicz ; Fakultät für Physik und Astronomie
Person(en) Stamminger, Mark (Verfasser)
Keudell, Achim von (Gutachter)
Awakowicz, Peter (Gutachter)
Organisation(en) Fakultät für Physik und Astronomie (Sonstige)
Verlag Bochum : Ruhr-Universität Bochum
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2019
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:294-68903
URL https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/6890 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Plasma ; Quarzglas ; Aluminium ; Modellierung ; Erosion
Glass* ; Silica* ; Erosion* ; Aluminum* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.44 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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