Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neue Membransensoren mit porösem Silizium / Kathrin Gutsche
Person(en) Gutsche, Kathrin (Verfasser)
Ausgabe 1. Aufl.
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource : 32 farb. Ill. (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gutsche, Kathrin: Neue Membransensoren mit porösem Silizium
Hochschulschrift Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201410124727
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-3044-0
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 26
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Siliciumsensor ; Drucksensor ; Kapazitiver Sensor ; Technische Membran ; Herstellung ; Silicium ; Poröser Stoff ; Epitaxieschicht
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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