Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Negative Ions and Operation Modes in Capacitively Coupled RF Oxygen Discharges / Christian Küllig
Person(en) Küllig, Christian (Verfasser)
Verlag Greifswald : Universitätsbibliothek Greifswald
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Küllig, Christian: Negative ions and operation modes in capacitively coupled RF oxygen discharges
Hochschulschrift Greifswald, Univ., Diss., 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:9-001585-6
URL http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2013/1585/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 530.446 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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