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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C24 molecules in pulsed CF4,H2 rf plasmas / vorgelegt von: Sergey Stepanov
Person(en) Stepanov, Sergey (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
Umfang/Format Online-Ressource (PDF)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Stepanov, Sergey: Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C2F4 molecules in pulsed CF_tn4/H2 rf plasmas
Hochschulschrift Greifswald, Univ., Diss., 2010
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:9-000842-4
URL http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2010/842/index.html (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter IR-TDLAS ; Absorptionsspektroskopie ; Molekülkinetik ; Fluorkohlenstoffhaltigen Plasmen ; Hochfrequenzplasma
DDC-Notation 530.446 [DDC22ger]; 539.60287 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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