Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1186583932 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium / Stefan Günthner |
| Person(en) | Günthner, Stefan (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 180 Seiten : 94 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Günthner, Stefan: Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität des Saarlandes, Saarbrücken, 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2019051907570101513784 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-5445-2 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 2 |
| Schlagwörter | Drehratensensor ; Gyroskop ; Silicium ; Wafer ; MEMS ; Systementwurf |
| DDC-Notation | 681.753 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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