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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/120660493X
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen / Tina Weichelt ; Gutachter: Andreas Tünnermann, Hartmut Bartelt, Norbert Lindlein
Person(en) Weichelt, Tina (Verfasser)
Tünnermann, Andreas (Gutachter)
Bartelt, Hartmut (Gutachter)
Lindlein, Norbert (Gutachter)
Verlag Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2019
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20190909-160725-008
DOI: 10.22032/dbt.39357
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00039357 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38153 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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