Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/850534852 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente / von E. W. Becker ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Kernverfahrenstechnik |
| Person(en) |
Becker, Erwin W. (Verfasser) Ehrfeld, Wolfgang (Verfasser) Münchmeyer, Dietrich (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : Kernforschungszentrum |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1984 |
| Umfang/Format | 87 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Becker, Erwin W.: Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Roentgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trennduesenelemente |
| Hochschulschrift | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. E. W. Becker, W. Ehrfeld, D. Münchmeyer, 1984 |
| ISBN/Einband/Preis | kart. (Pr. nicht mitget.) |
| Identifikationsnummern | Reportnummer: KfK 3732 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen |
Als Ms. vervielfältigt Status nach VGG: vergriffen |
| Sachgruppe(n) | 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: D 84b/3651
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: SB 7121 - 3732
Bereitstellung in Leipzig |
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