Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 sind von 9 bis 21:30 Uhr geöffnet. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will be open from 9:00 to 21:30.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Influence of vacancies introduced by RTA on the nucleation, size, morphology, and gettering efficiency of oxygen precipitates in silicon wafers / Dawid Kot. Betreuer: Martin Kittler
Person(en) Kot, Dawid (Verfasser)
Kittler, Martin (Akademischer Betreuer)
Verlag Cottbus : Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kot, Dawid: Influence of vacancies introduced by RTA on the nucleation, size, morphology, and gettering efficiency of oxygen precipitates in silicon wafers
Hochschulschrift Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:kobv:co1-opus-28435
URL http://opus.kobv.de/btu/volltexte/2013/2843/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Silicium ; Wafer ; Sauerstoff ; Getterung ; Thermomechanische Behandlung
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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