Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1067189254 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie / Ralf Illgen. Gutachter: Gerald Gerlach ; Roland Stenzel. Betreuer: Gerald Gerlach |
| Person(en) |
Illgen, Ralf (Verfasser) Gerlach, Gerald (Akademischer Betreuer) Stenzel, Roland (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Illgen, Ralf: Neuartige Ausleihverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie |
| Hochschulschrift | Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-69821 |
| URL | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-69821 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Transistor* ; Drain <Elektronik>* ; Planartransistor* ; Kur* ; Technologie* ; Ionenimplantation* ; Bauelement* ; VLSI* ; Blitzlampe* ; Lasertempern* ; CMOS* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.3815284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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