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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1278204733
Titel Electrical and optical properties of TiO 2 thin films prepared by plasma‐enhanced atomic layer deposition
Person(en) Dang, Van‐Son (Verfasser)
Parala, Harish (Verfasser)
Kim, Jin Hyun (Verfasser)
Xu, Ke (Verfasser)
Srinivasan, Nagendra B. (Verfasser)
Edengeiser, Eugen (Verfasser)
Havenith, Martina (Verfasser)
Wieck, Andreas D. (Verfasser)
de los Arcos, Teresa (Verfasser)
Fischer, Roland. A. (Verfasser)
Devi, Anjana (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023011504495867225703
DOI: 10.1002/pssa.201330115
URL https://doi.org/10.1002/pssa.201330115
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 20.10.2013
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Physica status solidi / A / Applications and materials science (Bd. 211, 2014, Nr. 2: 416-424. 9 S.)

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