Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Titel Decomposition equilibrium of arsine and low pressure doping of epitaxial CVD silicon
Person(en) Kokovin†, G. A. (Verfasser)
Testova, N. A. (Verfasser)
Titov, A. A. (Verfasser)
Morgenstern, Th. (Verfasser)
Kühne, H. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024031904295177047883
DOI: 10.1002/crat.2170201206
URL https://doi.org/10.1002/crat.2170201206
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 19.02.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 20, 2006, Nr. 12: 1583-1593. 11 S.)

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