Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985296860 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold |
| Person(en) | Leopold, Alexander (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 1,1 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Leopold, Alexander: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2003 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2003012907740 |
| URL | http://mediatum2.ub.tum.de/doc/601295/document.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Silicium ; Wafer ; Oberflächenreinigung ; Wasserstoffperoxid ; Komplexbildner ; Einstufenprozess |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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