Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1072705699 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Silicon-based 3D tactile sensors for coordinate measurement applications / Matthias Herrmann |
| Person(en) | Herrmann, Matthias (Verfasser) |
| Organisation(en) | Der Andere Verlag GmbH (Verlag) |
| Verlag | Uelvesbüll : Der Andere Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2015 |
| Umfang/Format | IV, 180 Seiten : Illustrationen ; 25 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, 2014 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-86247-515-5 Broschur : EUR 39.90 (DE), EUR 41.10 (AT), sfr 53.90 (freier Pr.) |
| EAN | 9783862475155 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | MEMS technology and engineering ; volume 23 |
| Schlagwörter | Taktiler Sensor ; Kraftsensor ; Entwurf ; Herstellung ; SOI-Technik ; CMOS ; Messgenauigkeit ; Nanometerbereich ; Koordinatenmessgerät |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger]; 670.425 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2016 A 26625
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2016 A 26022
Bereitstellung in Leipzig |
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