Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1188466976 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen / Stephan Roth ; Gutachter: Manfred Geiger; Dieter Schuöcker ; Betreuer: Manfred Geiger ; Herausgeber: Manfred Geiger, Klaus Feldmann |
| Person(en) |
Roth, Stephan (Verfasser) Geiger, Manfred (Akademischer Betreuer) Geiger, Manfred (Gutachter) Schuöcker, Dieter (Gutachter) Geiger, Manfred (Herausgeber) Feldmann, Klaus (Herausgeber) |
| Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380 |
| URL | https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/11138 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Fertigungstechnik - Erlangen ; 198 |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Laserablation ; Excimerlaser ; Flüssigkeitsfilm |
| DDC-Notation | 671.35 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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