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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren / Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ...
Person(en) Kadel, Klaus (Mitwirkender)
Organisation(en) Institut für Mikrostrukturtechnik (Herausgebendes Organ)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Karlsruhe : Kernforschungszentrum
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format 94 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Kadel, 1993
ISBN/Einband/Preis kart.
Identifikationsnummern Reportnummer: KfK 5262
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1994 B 1052
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1994 B 1052
Bereitstellung in Leipzig




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