Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "10728040X"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1104943212 |
| Titel | Laser-induced Particle Removal from Silicon Wafers / Paul Leiderer ; Johannes Boneberg ; Volker Dobler ; Mario Mosbacher ; Hans-Joachim Münzer ; Nouari Chaoui ; Jan Philip Siegel ; Francisco Javier Solis Cespedes ; Carmen Nieves Afonso Rodriguez ; T. Fourrier ; Gernot Schrems ; Dieter Bäuerle |
| Person(en) |
Leiderer, Paul (Verfasser) Boneberg, Johannes (Verfasser) Dobler, Volker (Verfasser) Mosbacher, Mario (Verfasser) Münzer, Hans-Joachim (Verfasser) Chaoui, Nouari (Verfasser) Siegel, Jan Philip (Verfasser) Solis Cespedes, Francisco Javier (Verfasser) Afonso Rodriguez, Carmen Nieves (Verfasser) Fourrier, T. (Verfasser) Schrems, Gernot (Verfasser) Bäuerle, Dieter (Verfasser) |
| Verlag | Konstanz : Bibliothek der Universität Konstanz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:352-opus-28431 |
| URL | http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/4968 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen |
In: Proceedings of SPIE. - SPIE, 2000. - S. 249-259. - eISSN 0277-786X In: High-Power Laser Ablation III, Santa Fe, NM, USA |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

